MEMSTIMES

台湾太阳能晶圆制造商Wafer Works最近开始向意法、飞思卡尔、ADI等IDM客户小批量供应MEMS衬底。同时也在与台积电、联电探讨供货事宜，预期最早可在2009年底小批量供货。

Wafer Works的90%以上利润来自太阳能市场，到2009年底MEMS晶圆可能尚达不到5%。但是，看到MEMS产业的增长潜力，公司考虑在2009下半年购买更多设备用于MEMS衬底制造，期望在2010年该部分的销售额大幅增长。

第一梯队的MEMS代工厂，如Dalsa、Silex、Micralyne等也是Wafer Works的客户。

根据Digitimes消息，TSMC将很快在其8寸的Fab3为Silverbrook Research进行MEMS量产，初期目标为每月200-300片晶圆。TSMC从2008年底开始为Silverbrook制造MEMS打印头，每月产量低于100片晶圆，现在良率已提升至70-80%，已准备好提高产量以适应市场需求。根据Yole Development，至2012年MEMS打印头将持续是主要的MEMS类产品，销售额将达到23.2亿美元。