MEMSTIMES

根据市场消息来源，由于飞思卡尔产能扩展完成，三轴加速度计（g-sensors）的报价预期在2009年第三季度将比目前的每只一美金下降0.1-0.2美金。

飞思卡尔从2009年一季度开始扩充产能并生产低价的g-sensor。但其他IDM厂商如ADI、ST、Bosch仍对市场需求持谨慎态度，没有增加产能的计划。

但是，在飞思卡尔产能扩展完成后，价格竞争不可避免。另外，Bosch在消费电子市场加码发力，提供灵活的报价。

台湾太阳能晶圆制造商Wafer Works最近开始向意法、飞思卡尔、ADI等IDM客户小批量供应MEMS衬底。同时也在与台积电、联电探讨供货事宜，预期最早可在2009年底小批量供货。

Wafer Works的90%以上利润来自太阳能市场，到2009年底MEMS晶圆可能尚达不到5%。但是，看到MEMS产业的增长潜力，公司考虑在2009下半年购买更多设备用于MEMS衬底制造，期望在2010年该部分的销售额大幅增长。

第一梯队的MEMS代工厂，如Dalsa、Silex、Micralyne等也是Wafer Works的客户。

iPhone的面世让MEMS大出了风头，但把MEMS上升到“革命者”高度则多少让人感到意外。在日前举办的Globalpress Electronics Summit 2009关于MEMS专题小组讨论会上，作为演讲嘉宾之一的Maxim集团总裁Vijay Ullal给出了一个惊人的结论：半导体供应商将在进入MEMS技术领域或最终退出市场二者中做出选择。

无处不在的MEMS

MEMS最有意思之处不是MEMS器件本身，而是器件、是信号处理和算法的组合。让MEMS技术公司感兴趣的原因是，MEMS是一个有着巨大增长动力的市场。Ullal 断言，“如果人们将传动、计算和传感三者结合起来，就能制造出一个真正意义上的智能机器人与人类竞争。MEMS不仅是一个新的小配件，而且将第三次（前两次分别为传动
、计算）大规模改造我们人类社会，任何一家半导体公司现在必需开始做MEMS或者出局。”

MEMS目前在消费电子领域主要应用包括：游戏控制器、数码相机、便携摄像机、MP3播放器、个人导航仪、远程控制器、背投电视、迷你独立放映机、体育设备、白色家电、玩具、手持设备及USB记忆棒等。但远不止此，ADI的MEMS业务已有20来年的历史，自上世纪90年代初开始ADI就在开发基于MEMS技术的产品，目前已向全球客户销售了400多种传感器、加速度计和陀螺仪。自打标志性产品如iPhone和Wii游戏机出现后，MEMS的市场开始获得释放。ADI副总裁兼MEMS部门总经理Mark Martin对MEMS应用广泛性的看法是，不只是汽车和消费电子，MEMS目前正在向工业和医疗仪器发展。

其实，Maxim看中MEMS市场还有一个因素，那就是MEMS是一个真正需求分散的市场，各种各样的用户为MEMS市场新进入者提供了大量机会。Ullal表示，Maxim正着手进入MEMS市场，并已开始进入MEMS传统供应商尚未占主导地位的领域，比如在谐振器和微型继电器市场上，“我们最终将超越那些先入者并扩大我们的市场份额。”

Microvision公司是MEMS用户。Microvision采用MEMS技术把数字投影仪缩小至可由电池供电的掌上型设备大小。把微光学机电系统（MOEMS）技术与固态照明（LED、HVBLED、或激光二极管）混合集成是Microvision实现低成本和紧凑型光学引擎的一种新颖独特的解决方案。该公司已经开发出结合三个激光器与MEMS器件用于移动设备的投影机，将在2009年中期上市。Microvision市场销售副总裁Ian Brown说，“我们已经拿出了新的应用，并与供应商一起开发出一个解决方案。我们要掌握好可能的产量增长，这对我们来说更具挑战性。因为，当一家手机公司推出一个新款产品，预计要供货2万至5万片。如果把设计所需时间考虑进来，我们就必须在很短的时间里完成交货。”

摩尔定律对MEMS不适用

VTI Technologies副总裁兼总经理Scott Smyser认为，“当产品变成大量消费的器件时，就有需要降低成本。”目前，VTI已经摆脱了外部封装束缚，而是将MEMS直接与倒装的ASIC芯片放在一起。Kionix是一家专注于惯性传感器的供应商。制造工艺显然是重要的，但是理解器件将要进入的应用也很重要，Kionix市场销售副总裁Eric Eisenhut解释说，MEMS技术从基础到产品，你必须理解基本物理和数学知识，这决定着传感性能。我们并不期望我们的客户能够理解这一点，但我们不想让我们的业务仅仅依靠元件供应及其价格优势，而是要了解与功能芯片相关的集成应用。

Kionix已开发出可检测手指轻叩操作的3轴MEMS加速度传感器“KXTF9”，通过嵌入手机及便携音乐播放器等便携终端，可识别最多12种组合的手指轻敲操作。该产品通过配备自主算法“Directional Tap/Double-Tap”，不仅可识别叩击由便携终端的哪一侧面发出，还可识别是一次单击，还是连续两次的双击，可检测的加速度范围为±2/4/8g，人们利用这些识别功能就可设定多种操作。

ADI的Martin认为，过去业界用相当复杂的工艺在较低量产上，今天我们作为一种产业已经相当成功地降低了成本，生产工艺日趋成熟，作为MEMS中的一项重大挑战的成品率也正在靠近传统半导体工艺的水平。尽管在市场初期一些客户只根据价格购买三轴加速度计，但客户会逐渐发现不是所有的器件都做得一样，用户会体验因为传感元件的功能和精度而大不相同。随着时间的推移、市场的成熟，应用市场将有高中低成本之分。

对于MEMS器件能不能持续缩小尺寸？Ullal认为，摩尔定律对MEMS不适用，因为MEMS需要一定的质量（产生惯性），尺寸就不能有太多的缩小。目前人们在系统中添加功能更多的方式是3D集成，每个人都很清楚摩尔定律如果没有全部过时，也正在趋向过时。

有一种观察认为客户在左右MEMS产业，而不是像传统的半导体工业路线——通过展示技术能力来推动应用导入。Martin说，“如果我们想扩大市场，我们就必须提供算法和软件给我们的客户，并用简化的办法向用户传授、解释5种动感传感器在每个领域的具体使用。同时，我们还将从我们的客户那里学习以开发出他们更喜欢的产品。

VTI的Smyser表示，围绕我们的传感器，我们正在进行算法、软件和系统开发。我们已经完成了与体育和健身相关的产品开发，目前正在做导航和GPS。但真正驱使我们的动力是客户，因为应用太多了，要及时跟上客户的需求是困难的，因为客户需求的增长太快了。iPhone采用了内嵌式加速度计，客户正期待着把它用在他们自己的设备上实现类似的动能。

(- Semiconductor International)

法国Yole Development根据2008年业绩，最近更新了前30位的MEMS公司排名。其中较之前比较大的变化有：
1）ST按2008年4.5亿美元的销售额，总体利润额排名第三；
2）Silicon Sensing System（SSS）与Atlantic Inertial Systems的合资，总体排名上升到23位；
3）加拿大的纯代工企业Micralyne进入前30名。

总体来说，2008年前30位MEMS制造商的销售额下降2%，达到55亿美元。汽车用MEMS板块受到金融危机影响，出货量下降10-20%，气囊加速度计等受影响明显，而胎压监控及电子稳定系统（TPMs、ESC）受的影响较小。

在消费类MEMS板块，打印头受挫巨大，2008年下降约15%。而消费类惯性传感器则有几个百分点的增长，象ST、ADI等表现良好。Micralyne是首次进入前30位的纯代工厂，销售额0.28亿美元。IMT下调了公司的利润数据，但其上年已重回盈利。

另外，有两家非制冷红外探测器厂商进入前30，分别是FLIR约0.66亿美元销售额，ULIS约0.61亿美元销售额。

对于2009年，Yole预计整个MEMS市场不会有大的起色。