MEMSTIMES

世界上第三大晶振器件制造商，台湾的TXC公司表示对于MEMS振荡器市场的未来持审慎态度。TXC目前正关注该部分市场，但是预计MEMS振荡器不会在近期内取代晶振。公司总裁Peter Lin表示，目前，分别使用石英和硅材料的两种MEMS振荡器产品，都在TXC的内部开发之中，但是因为该市场的前景未明，公司在2009年底前不会推出任何MEMS振荡产品。

瑞士的Micronas（www.micronas.com）公司开发出3D霍尔传感器，可用于3D的位置测量。芯片单体集成，比竞争产品的工作温度更宽。芯片采用标准CMOS制程，包括纵向结构，制造成本低。

其应用包括需要测量传动器的位置的闭环控制系统，例如阀门、风门位置传感器、废气循环系统等。与MEMS三轴陀螺仪不同，其测量的是位置，而非角速度。该芯片也将向家用及工业自动化市场推广。

德国Bosch旗下的Sensortec的CEO，Frank Melzer日前表示，因其自身拥有的14年MEMS制造经验，将坚持自己的加工工艺和加工产能，而不会选择台湾的CMOS代工厂来制造其G-Sensors（加速度计）。

越来越多的台湾CMOS代工厂表示计划用CMOS工艺来制造MEMS产品，以降低成本。但Bosch Sensortec将不会跟进，因为他们认为MEMS制造与CMOS标准工艺的方式不同，维持稳定的高成品率的唯一途径是通过经验积累。

Bosch Sensortec从1995至2009，已经累计生产10亿只以上的加速度计，从未需要利用其它工厂的产能。如果该公司计划与其它代工厂合作，他们将把整体技术和设备作为交钥匙方式转移。

尽管经济形势依旧弱势，但因为从消费市场对加速度计的需求增长，Melzer预期公司在2009年维持增长。公司计划扩大招聘，2009年在北京和深圳设立销售办公室，在上海成立设计中心。

法国Yole Development根据2008年业绩，最近更新了前30位的MEMS公司排名。其中较之前比较大的变化有：
1）ST按2008年4.5亿美元的销售额，总体利润额排名第三；
2）Silicon Sensing System（SSS）与Atlantic Inertial Systems的合资，总体排名上升到23位；
3）加拿大的纯代工企业Micralyne进入前30名。

总体来说，2008年前30位MEMS制造商的销售额下降2%，达到55亿美元。汽车用MEMS板块受到金融危机影响，出货量下降10-20%，气囊加速度计等受影响明显，而胎压监控及电子稳定系统（TPMs、ESC）受的影响较小。

在消费类MEMS板块，打印头受挫巨大，2008年下降约15%。而消费类惯性传感器则有几个百分点的增长，象ST、ADI等表现良好。Micralyne是首次进入前30位的纯代工厂，销售额0.28亿美元。IMT下调了公司的利润数据，但其上年已重回盈利。

另外，有两家非制冷红外探测器厂商进入前30，分别是FLIR约0.66亿美元销售额，ULIS约0.61亿美元销售额。

对于2009年，Yole预计整个MEMS市场不会有大的起色。

法国MEMSCAP日前与美国的医疗器件公司OrthoMEMS达成多年战略合作关系，共同开发和制造用于诊断和治疗腰背疼痛的MEMS传感器。

对于MEMSCAP，该合作将有利于其在美国医用器件市场的拓展计划。对于OrthoMEMS，将极大地推进其突破性的脊椎用传感器技术。两家的技术和经验结合，将促成名为OrthoChip的微型、无电池的无线压力传感器的开发和商业化，将用于脊椎压力的客观量测，区分正常的压力与破坏性应力，并通过无线传输到读卡器上。

脊椎疾病是成年人主要的致残原因之一。估计每年美国有0.26亿人因严重脊背疼痛而需要理疗师治疗。

法国非制冷红外探测器制造商ULIS推出第四代高分辨率焦平面，用于全天候监视以及军用车辆的夜间视觉增强。该款XGA（1024X768）分辨率、17微米像元间距的探测器比之前的产品像元数翻倍。该技术将方便系统集成商和红外热像仪制造商降低光学系统的体积和重量，设计出更小型化的热像仪。

http://www.ulis-ir.com

美国高通下属Qualcomm MEMS Technologies（QMT）于2009年4月底前提出了内置太阳能电池的显示屏相关专利申请。如果配备在手机上的显示屏具有太阳能电池功能，就可以从周围的光线中获得能量。进而还能将显示屏发出的光转换为电能加以利用。

QMT系美国高通的子公司。利用MEMS技术开发及生产了手机显示屏“mirasol”。除了液晶等普通显示屏外，此次的专利还可与QMT的MEMS显示屏技术相结合。而且与在显示屏的显示部分形成薄膜太阳能电池的技术有关。

为使该器件具有显示屏和太阳能电池功能，该公司进行了以下改进。反射型显示屏由只反射或吸收特定波长的光来显示颜色。将不使光线发生反射的像素或发生反射、但不反射的波长的光线导入显示屏下层。这就能形成了具有太阳能电池功能的薄膜，可获得电能。

此次的技术至少有两项专利：

一项是United States Patent Application 20090103161，“DISPLAY WITH INTEGRATED PHOTOVOLTAIC DEVICE”。

另一项是United States Patent Application 20090103166，“ADJUSTABLY TRANSMISSIVE MEMS-BASED DEVICES”。

By：曹明霞，Semi-China

韩国三星公司目前正开发一款用于微型数字相机的MEMS快门，并在学术会议上作了报导。

该款MEMS快门为直径2.2毫米的圆形，玻璃衬底之上形成ITO透明电极薄膜，之上再形成遮光用薄膜。遮光薄膜是由36片扇形薄膜构成，每个扇心角10度，共360度构成一个圆形。这36片遮光薄膜的外沿固定在ITO上，另一端向下弯曲，在这种状态下，光线可以自由通过。

当ITO与遮光薄膜间施加30V电压时，静电力把薄膜拉上并遮住整个ITO表面，光线完全被遮挡。

遮光薄膜向下翘曲是因为其由两层不同薄膜构成，例如铝和氮化硅。两种薄膜具有不同的应力，通过控制应力及厚度可以得到预期的弯曲角度。

当图像数据可以快速（小于10微秒）转移时，数字相机可以不用快门。但是当图像传感器的像元数很高（例如千万像素）时，传输一幅图像的时间将变长。这时就无法捕捉快速移动的物体而不发生变形。

这就是高端数字相机需要快门的原因。但是机械快门体积大而且价格高，无法用在手机内的相机。三星希望能以MEMS快门技术解决体积和价格的问题。

From Tech-On

近一个多月来有传言iPhone的下一款产品将集成磁场传感器，日前网上更出现了iPhone的电子罗盘程序的Debug界面的截图。

手机的数字罗盘的有趣应用包括现实场景增强功能，例如与手机的摄像功能结合，在对某一景点拍摄后，通过电子罗盘定位，直接把景点的名称及地理位置等信息直接打印在照片上。该功能对于苹果公司和iPhone来说是全新的，但Nokia等已经从事同类应用的开发几年了，HP Labs也对该种功能的用途进行过研究。

数字罗盘也将使iPhone跟上Google公司的G1在罗盘状态下的Google Maps功能，在街景模式下，当你移动手机时，地图也随之移动。当然，以上的传言要等到夏天苹果公司推出新品后才能见分晓。

前视红外系统（FLIR）公布2009年一季报，利润为2.72亿美元，比08年一季度的2.369亿美元同比上升15%。营业收入0.834亿美元，比08年一季度的0.551亿美元同比上升51%。2009年一季报净收入0.543亿美元，全面摊薄后折合每股0.35美元，08年一季度的对应数据为净收入0.365亿美元，全面摊薄后折合每股0.24美元。09年一季度运营带来0.743亿美元的现金。

公司政府类业务分支的利润为1.622亿美元，比08年一季度上升43%，主要由空降应用驱动。商业类业务分支的利润为0.459亿美元，比上年同期上升5%，折射出在安防巡检以及机芯和探测器市场的增长。热像仪业务的利润为0.639亿美元，比上年同期下降20%，主要受汇率影响以及美国预防检测市场对高端产品的需求下降。刨去汇率因素，热像仪利润下降10%，但出货量增加44%。

FLIR在未来12个月订单积压约为6.17亿美元。其中，政府系统为5.04亿美元，商业系统为0.95亿美元，热像仪业务为0.18亿美元。

“我们对第一季度的表现非常满意，利润稳固增长，营收成长良好，毛利率及营业利润率都是公司历史纪录，”FLIR的总裁兼CEO Earl Lewis说：“在经济逆境中取得以上成绩依靠稳固的经营，三个业务分支的毛利率及营业利润率都比上年增加。第二季度的经济环境及政府订单情况将是影响我们全年表现的重要因素。”

- Vision Systems Design