MEMSTIMES

由于工作繁忙，近期未在博客上发布新的MEMS信息。先后收到多位热心MEMS同行发来Email，希望能继续更新博客。

鉴于个人时间有限，现寻求志同道合者合作经营本博客。一些具体的要求包括：

1）是MEMS行业内者，对MEMS技术有比较深入的了解；
2）有一定英文基础、以及文字功底的优先；
3）有一定网页技术基础的优先；
4）热心、诚恳，有一定的业余时间的。

有兴趣的请Email：memstimes@gmail.com

谢谢

据Digitimes，台湾欣兴电子（Unimicron）下属的利顺精密科技（Domintech）计划2009年底推出自有品牌的加速度计（g-sensors）。公司表示在开始前道设计前，花费两年时间准备封装和测试设备，与其它的公司一般顺序刚好相反。因此其封装和测试成本比其它MEMS封测厂的低很多。

利顺精密科技计划年底推出压阻式加速度计，2010年推出电容式加速度计。压阻产品在亚太优势（APM）制造。公司将与一家台湾代工厂合作制造电容式的信号处理电路，并选择台湾或海外公司制造MEMS芯片。后道工艺将在自己的工厂完成。

公司补充说其g-sensor的产能是竞争对手的40-50倍。

以色列的Tower半导体及其美国分支Jazz半导体与SVTC Technologies达成协议，向SVTC的航天及国防客户开放Jazz的制程及生产线。该合作将实现先进CMOS与射频、混合信号电路的集成，为飞行器雷达、通讯设备等提供多种功能的单片集成。

Akustica的创始人兼技术总监Ken Gabriel于7月底离开其帮助创建的公司，回到美国的国防科研组织DARPA担任副主任。根据DARPA发布的消息，Ken Gabriel7月21日正式就任。而Akustica未发布任何评论。

Ken Gabriel于1992年加入国防部的核心研究机构DARPA，开始了微机电系统的计划，1996-1997担任电子技术主任。

之后他离开卡耐基-梅隆大学的MEMS实验室，与James Rock共同创立Akustica，开发MEMS麦克风。

2008年，担任CEO的Rock离开公司，由Joe Jacobson替代。

据法国Yole Development，MEMS领域在明年将持平。但是在惯性MEMS、射频开关、能量捕集、微镜等领域存在创新空间。在其最新报告中，Yole观察到在2009-2010年间，MEMS制造设备市场将持平，但是MEMS设备的研发将保持活跃，厂商为2011年增加产量做准备。到2012年，MEMS设备市场将达到五亿美元。

在描述MEMS制造趋势时，Yole注意到长期以来认为MEMS生产的规则是“一种特定产品、需要一种定制工艺、和一种定制封装”，而欧洲的代工厂和研究机构现在在探讨以标准工艺来制造MEMS是可行的。

Silex是这种趋势的带头人，受其晶圆通孔和晶片级键合（WLP）平台，Silex表示越多的客户使用统一的工艺模块或平台，工艺控制及合格率越佳，成本越低。法国的CEA-Leti凭借其8英寸标准工艺研发线成为另一个推动者。

“与TSV的3D集成现在已经是工业化的现实并预期将持续增长，”Yole的项目经理Eric Mounier说：“TSV与MEMS的3D集成很可能成为DRIE市场的下一个增长渠道，TSV推动更快刻蚀速率，趋向100微米/分钟。”

Yole预计MEMS材料市场到2012年将达到4.7亿美元。Yole观察到对于大批量MEMS应用，衬底从6英寸向8英寸转移的趋势。厚膜SOI（0.2 - 60微米）用于牺牲层释放，并且更厚的BOX（5微米以上）用于微镜或陀螺等需要高形变要求的器件。

利用二氟化氙（XeF2）的刻蚀工艺逐渐被MEMS制造商采用。然而XeF2的高成本仍旧是其被广泛采用的障碍之一。Air Products的XeCoverySM氙气回收服务将有助于稳定或降低XeF2的成本。

XeCovery的商业拓展经理Gene Karwacki在Semicon West 2009上说：“XeF2的价格受氙气的产量和价格影响显著，在过去两年里，由于Xe在半导体、等离子屏、照明、航天等领域的需求，致使XeF2的价格翻倍。XeCovery将有助于稳定和降低用于MEMS制程的XeF2的价格结构。”

XeCovery服务是一种从工艺排气中提取氙气的现场服务，浓缩的回收Xe被压缩并存储。装满的容器运走提纯。Air Products承担设施的所有权、运营、和维护，使用户的成本仅限于安装和提供运行动力。

美新半导体推出专为家用洗衣机设计的失衡传感器系列，MXC62XXXGMW。传感器封装为易于安装在滚筒外侧的模块，便于用户设计和测试。

精确的失衡状态探测以及振动感测能力是更高效、转速更快的洗衣机最需要的功能之一。滚筒内衣物可以显著影响洗涤过程的平衡，在高速甩干过程中预防机械故障的唯一方法是探测、评估甚至预测可能的非平衡情况。

MXC62XXXGMW系列利用美新领先的加速度计技术，集成片上混合信号处理以及I2C总线，可以直接与微处理器连接，无需AD以及外置时钟。

iPhone的面世让MEMS大出了风头，但把MEMS上升到“革命者”高度则多少让人感到意外。在日前举办的Globalpress Electronics Summit 2009关于MEMS专题小组讨论会上，作为演讲嘉宾之一的Maxim集团总裁Vijay Ullal给出了一个惊人的结论：半导体供应商将在进入MEMS技术领域或最终退出市场二者中做出选择。

无处不在的MEMS

MEMS最有意思之处不是MEMS器件本身，而是器件、是信号处理和算法的组合。让MEMS技术公司感兴趣的原因是，MEMS是一个有着巨大增长动力的市场。Ullal 断言，“如果人们将传动、计算和传感三者结合起来，就能制造出一个真正意义上的智能机器人与人类竞争。MEMS不仅是一个新的小配件，而且将第三次（前两次分别为传动
、计算）大规模改造我们人类社会，任何一家半导体公司现在必需开始做MEMS或者出局。”

MEMS目前在消费电子领域主要应用包括：游戏控制器、数码相机、便携摄像机、MP3播放器、个人导航仪、远程控制器、背投电视、迷你独立放映机、体育设备、白色家电、玩具、手持设备及USB记忆棒等。但远不止此，ADI的MEMS业务已有20来年的历史，自上世纪90年代初开始ADI就在开发基于MEMS技术的产品，目前已向全球客户销售了400多种传感器、加速度计和陀螺仪。自打标志性产品如iPhone和Wii游戏机出现后，MEMS的市场开始获得释放。ADI副总裁兼MEMS部门总经理Mark Martin对MEMS应用广泛性的看法是，不只是汽车和消费电子，MEMS目前正在向工业和医疗仪器发展。

其实，Maxim看中MEMS市场还有一个因素，那就是MEMS是一个真正需求分散的市场，各种各样的用户为MEMS市场新进入者提供了大量机会。Ullal表示，Maxim正着手进入MEMS市场，并已开始进入MEMS传统供应商尚未占主导地位的领域，比如在谐振器和微型继电器市场上，“我们最终将超越那些先入者并扩大我们的市场份额。”

Microvision公司是MEMS用户。Microvision采用MEMS技术把数字投影仪缩小至可由电池供电的掌上型设备大小。把微光学机电系统（MOEMS）技术与固态照明（LED、HVBLED、或激光二极管）混合集成是Microvision实现低成本和紧凑型光学引擎的一种新颖独特的解决方案。该公司已经开发出结合三个激光器与MEMS器件用于移动设备的投影机，将在2009年中期上市。Microvision市场销售副总裁Ian Brown说，“我们已经拿出了新的应用，并与供应商一起开发出一个解决方案。我们要掌握好可能的产量增长，这对我们来说更具挑战性。因为，当一家手机公司推出一个新款产品，预计要供货2万至5万片。如果把设计所需时间考虑进来，我们就必须在很短的时间里完成交货。”

摩尔定律对MEMS不适用

VTI Technologies副总裁兼总经理Scott Smyser认为，“当产品变成大量消费的器件时，就有需要降低成本。”目前，VTI已经摆脱了外部封装束缚，而是将MEMS直接与倒装的ASIC芯片放在一起。Kionix是一家专注于惯性传感器的供应商。制造工艺显然是重要的，但是理解器件将要进入的应用也很重要，Kionix市场销售副总裁Eric Eisenhut解释说，MEMS技术从基础到产品，你必须理解基本物理和数学知识，这决定着传感性能。我们并不期望我们的客户能够理解这一点，但我们不想让我们的业务仅仅依靠元件供应及其价格优势，而是要了解与功能芯片相关的集成应用。

Kionix已开发出可检测手指轻叩操作的3轴MEMS加速度传感器“KXTF9”，通过嵌入手机及便携音乐播放器等便携终端，可识别最多12种组合的手指轻敲操作。该产品通过配备自主算法“Directional Tap/Double-Tap”，不仅可识别叩击由便携终端的哪一侧面发出，还可识别是一次单击，还是连续两次的双击，可检测的加速度范围为±2/4/8g，人们利用这些识别功能就可设定多种操作。

ADI的Martin认为，过去业界用相当复杂的工艺在较低量产上，今天我们作为一种产业已经相当成功地降低了成本，生产工艺日趋成熟，作为MEMS中的一项重大挑战的成品率也正在靠近传统半导体工艺的水平。尽管在市场初期一些客户只根据价格购买三轴加速度计，但客户会逐渐发现不是所有的器件都做得一样，用户会体验因为传感元件的功能和精度而大不相同。随着时间的推移、市场的成熟，应用市场将有高中低成本之分。

对于MEMS器件能不能持续缩小尺寸？Ullal认为，摩尔定律对MEMS不适用，因为MEMS需要一定的质量（产生惯性），尺寸就不能有太多的缩小。目前人们在系统中添加功能更多的方式是3D集成，每个人都很清楚摩尔定律如果没有全部过时，也正在趋向过时。

有一种观察认为客户在左右MEMS产业，而不是像传统的半导体工业路线——通过展示技术能力来推动应用导入。Martin说，“如果我们想扩大市场，我们就必须提供算法和软件给我们的客户，并用简化的办法向用户传授、解释5种动感传感器在每个领域的具体使用。同时，我们还将从我们的客户那里学习以开发出他们更喜欢的产品。

VTI的Smyser表示，围绕我们的传感器，我们正在进行算法、软件和系统开发。我们已经完成了与体育和健身相关的产品开发，目前正在做导航和GPS。但真正驱使我们的动力是客户，因为应用太多了，要及时跟上客户的需求是困难的，因为客户需求的增长太快了。iPhone采用了内嵌式加速度计，客户正期待着把它用在他们自己的设备上实现类似的动能。

(- Semiconductor International)

法国Yole Development发布了2008年前20位的MEMS代工排名，主要的变化有：
- 专用的MEMS代工厂相比2007年下降。
- 加拿大的Micralyne成为开放式MEMS代工厂的排名第一。
- 主要的开放式MEMS代工厂开始赢利。
- 三洋及香港华润半导体停止了MEMS代工业务。
- Jazz半导体进入MEMS代工业务并快速增长。
- 大日本印刷的业务受汽车业务萎缩影响严重。

尽管受几个市场下滑周期的影响，主要的开放式MEMS代工厂相对2007年仍有7%的增长，大多数都实现赢利。欧洲的Tronics2008年底宣布第十个季度持续赢利，2008年增长34%。美国的IMT2008年重返赢利。Micralyne依靠22%的增幅成为排名第一的开放式MEMS代工厂，主要依靠在光学开关、微流体、植入性药物释放方面的创新。

但是，意法半导体是所有MEMS代工厂中销售额第一。专用式代工厂的利润下滑15-20%，主要是受喷墨打印头销售下滑影响。成熟的MEMS器件的销售所受影响很大，专用式代工厂受到直接影响。

Jazz半导体因为Wispry的可调谐RF-MEMS在手机中的出货而进入前20名，预期2009年将增长20%。而香港华润半导体则因为主要客户Teravicta宣布破产而停业。在全球范围，MEMS代工市场非常细分化。尽管金融风暴，很多项目仍在进行，例如Silex的8英寸生产线计划2009年底完成。

飞思卡尔半导体6月22日在丹佛举行的IEEE Transducers 2009国际会议上宣布其传感器出货量已达10亿只。飞思卡尔的MEMS部门，过去从属摩托罗拉，具有30年传感器历史，目前是排名第一的汽车传感器供应商。